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1990年代 ,换人市场上的主流光刻机采用的还是193纳米波长 。台积电曾描述过极紫外光刻机对于光照精准度的要求:民币一束激光从月球发射到地球,光斑只能有1枚硬币大小 。

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该专家分析说,少量理论上是可以实现的。今年5月,换人华为公布了两项芯片堆叠相关专利 。这可以减少晶体管尺寸受制于源、民币漏间水平间距的影响,为制备更小尺寸的晶体管奠定基础 。

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再者  ,少量芯片通常是一层层平面工艺堆叠而成,层与层间套刻 、对准的偏差不能超过两个纳米 。阿斯麦最新款极紫外光刻机的身价不菲,换人售价达2亿美元。

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台积电选择与阿斯麦合作 ,民币共同研发出以此为原理的浸入式光刻机 ,令阿斯麦一举后来者居上。

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